1.平面度測量設備的基本原理

平面度歸于形狀公役中的一種。形狀公役是指單一提取（實踐）要素形狀的答應變動量。平面度公役指單一實踐直線答應的變動全量。用于控制平面或空間直線的形狀誤差，其公役帶根據不同的情況有幾種不同的方式。平面度誤差是指實踐直線對抱負直線的變化量,反映了被測直線的不直程度；平面度誤差可分為給定平面內的直線的誤差、給定方向的平面度誤差和恣意方向內的平面度誤差。

2、平面度丈量方法
根據PSD芯片的平面度丈量儀：

檢測設備的基本原理是使用直線性非常好的激光為參照，通過PSD傳感器可準確定位光的能量中心方位的功能來完成對內孔平面度的測量。

自準直法內孔平面度測量方法：
平行光自準直法平面度檢測儀器是將平行光管和準直望遠鏡結合為一體的一臺儀器。通常由光源、分劃板、分光鏡、物鏡以及望遠接納部分構成，其望遠接納部分由分劃板和目鏡組成，可通過人眼觀測并結合機械測微裝置完成丈量，也可由光電傳感器完成接納和丈量。
棒材在線平面度丈量儀：
丈量線、棒、管的外概括的平面度時，一起布置以上原理的設備3臺，三臺設備同一時刻丈量被測工件的方位數據左邊和右邊兩臺采集的方位連線，計算出中心設備的在平面度為0時的理論方位，與中心一臺所獲的方位數據比較，差值即為被測工件在當前方位的直線誤差。
長管內孔平面度激光位敏測量儀：
內孔平面度測量儀是使用激光的直線性和位敏傳感器可準確定位光的能量中心方位的功能來完成內孔平面度測量的體系。平面度測量體系誤差量精度高，角度（彎曲方向）準確，可為被測工件的校直供給量化的科學依據。
以上四種平面度丈量方法都是非常好的平面度檢測設備，其間的棒材在線平面度丈量儀仍是可應用于出產線上進行在線檢測的設備，對棒材、管材等均可做到實時在線丈量。


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