簡述了平面度測量和評價方法。
平整度誤差指實際測量面到理想平面的距離。平面度誤差測量方法與直線度誤差測量方法相似。平面度測量其中包含了間隙法，激振法，光軸，干涉法，液面法，水平儀，自準直儀和坐標測量法。平面度測量方法與直線度誤差測量方法相似，根據(jù)其測量原理，可以分為三種方法。只有第三種方法需要對實測數(shù)據(jù)進行分析，才能得到精度較高的結(jié)果。按對測量數(shù)據(jù)處理方法的不同，可分為兩類。首先，測量點的測量結(jié)果不需要進行累加計算或坐標變換等處理，測量點的測量結(jié)果可以看作是相互獨立的，如坐標測量機法、光軸測量法、同位素法等；另外，直接測量點測量的結(jié)果也要進行累積計算或坐標變換等處理，如水平儀、自準直等。它對單點測量不確定度的確定方法與直線度誤差相同。
評估方法有最小包容區(qū)域法、最小二乘法、對角平面法和三遠點平面法。
1.最低區(qū)域法。
最小化范圍方法是將實際測量的平面與彼此平行的兩個平面相結(jié)合，用最小范圍方法所評定的平面度誤差來表示兩個平面間的距離。所遵循的原則是兩平行面與被測面之間至少有四個接觸點。這些點需要滿足交回準則或三角準則。用最小區(qū)域法計算的誤差值最小，可作為最終仲裁的依據(jù)。
兩個最小平方平面法。
平面度誤差的最小二乘法評定，評定的基準平面是最小二乘面，最小二乘面的確定是利用各被測點到平面距離的平方和為最小。求出每一點相對于平面的最大偏離值與最小偏離值之差為平面度誤差。這些點上面是正數(shù)，下面是負數(shù)。
3.對角線法和三點法。
對角法的基準平面是包含一個對角線的兩個對角點，它與另一個對角線平行的平面SDL。
三遠點法的基準平面是包含在實際平面上的三個點的STP平面，該平面STP的方程可以直接從三點的坐標系得到。
經(jīng)SDL、STP對基準平面進行評定后，再求出各點相對于該平面的最大偏離值與最小偏離值之差作為平面度誤差。這些點上面是正數(shù)，下面是負數(shù)。
從總體上看，最小二乘平面法計算簡單方便，下面以最小二乘平面法為例介紹平面度的評定步驟。
最小二乘平面度模型
在直角坐標系中，如下圖所示，得到平面上n點的坐標值。
假設(shè)測得的點坐標為(x,y,z)，最小二乘面為：z=ax+c，其中a,b,c是待測參數(shù)。依據(jù)最小二乘法原理，得到最小二乘面的待定參數(shù)a,b,c：
若將最大坐標距離(XM,YM,ZM)與最小坐標距離(XL,YL,ZL)進行比較，得到的平面度誤差為：


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