平面度是形位公差之一，是指基板所具有的宏觀凹凸高度相對(duì)理想平面的偏差。以下主要介紹平面度的檢平面度的定義。
平面度是指基片所具有的宏觀凹凸高度相對(duì)理想平面的偏差。平面的平面度公差符號(hào)，基本表示方法，如下圖所示。

平面度測量方法。
平面度誤差是指被測實(shí)際表面對(duì)其理想表面的波動(dòng)量，理想平面的位置應(yīng)符合最小條件，平面度誤差屬于形位誤差中的形狀誤差。
平面度誤差測量的常用方法如下
1、液面法:液面法以液面為測量基準(zhǔn)面，液面由連通罐內(nèi)的液面構(gòu)成，用傳感器測量。該方法主要用于測量大平面的平面度誤差。
2、激光平面度測量儀:激光平面度測量儀用于測量大型平面的平面度誤差。
3、平晶干涉法:用光學(xué)平晶的工作面表現(xiàn)理想的平面，直接根據(jù)干涉條紋的彎曲程度確定被測量表面的平面度誤差值。主要用于測量小平面，如測量規(guī)定的工作面和千分尺頭測量面的平面度誤差。
4、光束平面法:光束平面法采用基準(zhǔn)值望遠(yuǎn)鏡和目標(biāo)鏡測量，選擇實(shí)際表面上最遠(yuǎn)的3點(diǎn)形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準(zhǔn)面。
5、鐘表測量法:鐘表測量法將被測量零件和微計(jì)放在標(biāo)準(zhǔn)平板上，以標(biāo)準(zhǔn)平板為測量基準(zhǔn)面，用微計(jì)沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線方向測量。鐘表測量法根據(jù)評(píng)價(jià)基準(zhǔn)面分為3點(diǎn)法和對(duì)角線法:3點(diǎn)法根據(jù)測量實(shí)際表面上最遠(yuǎn)的3點(diǎn)決定的理想平面作為評(píng)價(jià)基準(zhǔn)面，實(shí)際測量時(shí)將測量實(shí)際表面上最遠(yuǎn)的3點(diǎn)調(diào)整到與標(biāo)準(zhǔn)平板等高度的對(duì)角線法實(shí)際測量時(shí)，將實(shí)際表面的4個(gè)角點(diǎn)根據(jù)對(duì)角線調(diào)整到2等高度。然后用測量儀測量，測量儀在整個(gè)實(shí)際表面測量的最大變動(dòng)量是該實(shí)際表面的平面度誤差。
6、如何利用數(shù)據(jù)采集器連接百分表測量平面度誤差。
測量儀器:鐘擺、百分比表、數(shù)據(jù)收集儀。
優(yōu)勢:優(yōu)勢:
1)不需要人工用肉眼閱讀，可以減少人工閱讀產(chǎn)生的誤差
2)無需人工處理數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)收集器自動(dòng)計(jì)算平面度誤差值。
3)測量結(jié)果通報(bào)，測量結(jié)果不在平面度公差帶時(shí)，數(shù)據(jù)收集器會(huì)自動(dòng)通報(bào)。

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